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Eine Ionengetterpumpe basiert auf der absorbierenden
Wirkung von sauberen Oberflächen (gettern). Dabei befinden sich
Röhren aus hochreinem Titan als Kathode zwischen zwei
Anodenplatten, an die eine Hochspannung (ca. 7000 Volt) angelegt
wird. Dabei werden die zu evakuierenden Moleküle durch die
Elektronen ionisiert. Durch das Magnetfeld und der Lorentzkraft,
werden die Ionen beschleunigt und bewegen sich auf einer Spiralbahn,
durch die Röhren, auf die Anode zu. Schließlich bohren sie sich
mit hoher Geschwindigkeit in das Titanblech, worauf wiederum Titan
freigelegt wird. Das frei gewordene Titan bindet die
Gasmoleküle chemisch an sich und setzt sich wieder an den
Innenwänden der Pumpe ab. Die Pumpe befördert das Restgas
also nicht aus der Vakuumkammer, sondern hält die gepumpten
Atome nur an den Pumpeninnenflächen fest bzw. „vergräbt“
sie im Metall. Max. Vakuum: 10-14 bar. |
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